1. NA 0.5인 무수차 원형개구 광학계가 파장 193nm의 빛으로 결상할 때, Strehl ratio가 0.8 이상인 defocus 범위는?

  • 1
    -48.25 ~ +48.25nm

  • 2
    -96.5 ~ +96.5nm

  • 3
    -196 ~ +196nm

  • 4
    -386 ~ +386nm
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