1. 헬륨질량분석기로 검출할 수 있는 최소 누설률은?

  • 1
    0.05 Paㆍm3/s

  • 2
    10-4 Paㆍm3/s

  • 3
    10-5 Paㆍm3/s

  • 4
    10-12 Paㆍm3/s
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