1. 열전도형 진공계 중 필라멘트의 열전대로 측정하는 열전대 진공계의 측정 범위는?

  • 1
    10-5 ~ 10-3 torr

  • 2
    10-3 ~ 0.1 torr

  • 3
    10-3 ~ 1 torr

  • 4
    10~100 torr
1
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