1. 반도체 공정기술 기반으로 성립되는 초소형 정밀기계 제작 기술로써 무거운 조립식 센서를 반도체 IC와 같은 실리콘 기판 상에 작게 구현할 수 있는 기술은?

  • 1
    나노기술

  • 2
    MEMS(Micro Electronic Mechanical Systems)

  • 3
    반도체 집적기술

  • 4
    초경량화 기술
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