1. 미세전자제어기술(MEMS)에 대한 설명으로 가장 거리가 먼 것은?

  • 1
    초소형 전자 기계 시스템으로 소형화된 기계나 전기 기계 소자를 만드는 미세가공기술

  • 2
    부품과 센서를 실리콘 기판 위에 집적화하여 소형화를 이룸

  • 3
    제작한 장치의 정밀도는 수 마이크로미터(㎛)에서 수 밀리미터(mm) 정도

  • 4
    원자나 분자 정도의 크기를 다루는 정밀한 기술
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